Canon Inc. công bố có thể xuất xưởng các máy in thạch bản in nano (NIL) vào năm 2024 hoặc đầu năm 2025. Sự kiện này khiến Hoa Kỳ lo lắng Trung Quốc được tiếp tay sản xuất chip tiên tiến dưới 7nm giữa thế trận đang bị kìm hãm.
Trước đó, vào tháng 10 năm 2023, Canon từng gây sốc cho ngành bán dẫn toàn cầu khi hé lộ thông tin có thể sản xuất chip bán dẫn 2nm với máy in thạch bản nano NIL công nghệ tiên tiến. Theo đó, công nghệ in thạch bản NIL có thể đóng dấu thiết kế mạch lên wafer (tấm bán dẫn silicon) thay vì khắc công nghệ EUV (khắc tia cực tím) giống như công nghệ truyền thống hiện nay.
Hệ thống FPA-1200NZ2C NIL của Canon dành cho các tấm bán dẫn 300mm, cho phép tạo mẫu với băng thông truyền dẫn tối thiểu là 14nm, tương đương với nút sản xuất 5nm cần thiết để sản xuất hầu hết các chất bán dẫn tiên tiến hiện nay. Theo Canon, việc cải tiến hơn nữa công nghệ mặt nạ (mask) sẽ đưa NIL đạt băng thông tối thiểu là 10nm tương ứng với nút 2nm.
Canon đã bắt nghiên cứu công nghệ này vào năm 2004. Từ năm 2009 trở đi, Canon đã tiến hành hợp tác phát triển với công ty khởi nghiệp Molecular Imprints Inc. của Hoa Kỳ trước khi mua lại công ty này vào năm 2014. Trải qua gần 20 năm nghiên cứu và phát triển, máy in thạch bản nano ra đời và khiến giới chuyên môn có những đánh giá tích cực. Theo Canon, máy in thạch bản nano có hệ thống đơn giản hơn máy truyền thống EUV, chi phí thấp hơn, và tiêu tốn năng lượng chỉ bằng 10% máy EUV do sử dụng công nghệ dập mẫu quang học, không sử dụng laser để khắc họa tiết mạch trên wafer.
Với lợi thế đi sau, công nghệ NIL được đánh giá có thể sản xuất chip bán dẫn nút quy trình 5nm, thậm chí tiến tới chip 2nm nhờ các công nghệ tiên tiến. Đây chính là lý do khiến Hoa Kỳ cực kỳ lưu tâm đến máy NIL và thời điểm nó xuất xưởng.
Hiện tại, ASML (Hà Lan) là đơn vị đầu tiên và duy nhất sản xuất máy in thạch bản EUV, nhưng không được phép xuất khẩu sang Trung Quốc. Đó là lý do Trung Quốc không thể sản xuất chip vượt qua nút 7nm.
Nhưng nếu Canon không phải chịu sự cấm vận chuyển máy in thạch bản NIL cho Trung Quốc, thì đương nhiên xưởng đúc này có thể sản xuất chip 5nm, thậm chí tiệm cận đến chip 2nm. Điều này gây nhức nhối cho Hoa Kỳ và phái đồng minh nói chung.
Tuy nhiên, cũng có thông tin cho rằng, ứng dụng tiềm năng của máy in thạch bản Canon đang ở vị trí dẫn đầu, và nguồn gốc của ít nhất một số công nghệ bên trong nó ở Mỹ, rất có khả năng Canon sẽ phải chịu sự kiểm soát xuất khẩu tương tự như kỹ thuật in thạch bản EUV, ngăn cản việc bán hàng vào Trung Quốc.
Nguồn: https://www.eenewseurope.com/en/canon-could-ship-nano-imprint-lithography-machines-in-2024/